Semi-conducteurs / électronique
Solutions de thermostatisation de haute précision pour la production de semi-conducteurs / électronique
Des températures très précises et reproductibles sont un facteur décisif dans la production de microélectronique et de semi-conducteurs. Nos thermostats et refroidisseurs de processus conviennent parfaitement à de nombreuses applications dans la production électronique et de semi-conducteurs. Les systèmes de chauffage et de refroidissement offrent de nombreux avantages :
- Températures très précises et reproductibles
- Comportement de régulation dynamique
- Chauffage et refroidissement rapides
- Pompes de circulation à haute capacité de pression et de débit
- Fonctionnement avec des liquides non conducteurs d'électricité, par ex. Galden
- Technique fiable et construction robuste
Dans les domaines des semi-conducteurs et de l'électronique, nos appareils de régulation de température sont par exemple utilisés pour la régulation de température des bains de gravure pour la fabrication chimique par voie humide de wafers et de microchips. D'autres applications sont le dépôt organométallique en phase vapeur (MOCVD) pour le revêtement des semi-conducteurs ainsi que les tests fonctionnels et matériels dépendant de la température sur les composants électriques et électroniques et les groupes fonctionnels en utilisant des thermofluides non conducteurs comme le Galden ou le FC77.
Nos appareils de régulation de température garantissent des températures très précises et constantes dans le processus de fabrication des composants électroniques et des semi-conducteurs. Dans les processus de production exigeants pour les microcircuits de plus en plus petits, des températures reproductibles sont un facteur essentiel pour une qualité de fabrication constante. Notre technique de thermostatisation est réputée pour sa fiabilité et sa haute précision dans de nombreux secteurs industriels. Les thermostats et refroidisseurs de processus améliorent l'efficacité et la qualité de la production de microélectronique et de composants semi-conducteurs.